无尘洁净烘箱
无尘烘箱系用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤。

产品介绍:
无尘烘箱系用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤,强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到温度控制精度。
产品特点:
1.在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class100
2.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
3.采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避
免烘烤时产生PARTICLE;
4.采平面水平由后向前送风后经美国进口H.E.P.AFilter20"×20"装置往前门(特殊风道设计)方向送风,过滤效率99.99%,Class100,排气口:3"φ(附自动启闭风门)
产品用途:
无尘工业烤箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。
无尘工业烤箱也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
产品参数:
1、箱体结构:
1.1烘箱由箱体部分、电器控制柜、电加热及风道系统组装而成,结构合理,外观美观大方;
1.2全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生微尘;
1.3箱体材料:外箱采用SS41#中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘;
1.4内胆材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤时产生PARTICLE;
1.5中桶材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污及氩焊密封加工(防污染)。
2、温控系统
2.1采用日本OMRONE5A型温度控制器,控制器LED数字显示及设定、PID自动演算、薄膜设定,精确度±0.3%FS。;
2.2讯号来源:采日制进口CA感应棒±0.5%。
2.3输出被控制组件:SSR无接点讯号输出。
3、完善的安全保护措施:
漏电断路器
控制线路保险丝装置
超温防止保护装置
电热过电流保护装置
马达过电流保护
机台异常蜂鸣器警示
逆向防止器
门面安全开关
4、选购设备:
4.1可程式温控器
4.2六点温度记录仪
4.3三色指示灯
4.4烘烤架

名称及型号

无尘烘箱WCHX-2D

无尘等级

Class100

温度范围

60~+300℃

温度均匀度

200℃±3℃、300℃±4℃

温度波动度

±0.5℃(空载)

温控精度

±0.1℃

电源

380v,50Hz,12Kw

烘箱搁板为活动形式

两箱式

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